三维表面检测仪扫描测头的误差分析

　　三维表面检测仪采用有限元分析技术设计，具有高精度、高性能高速度和高稳定性的特点。使用冷光源系统，可避免容易变形的工件在测量是因为热变形所产生的误差，并避免了由于碰触引起的变形。检测仪可高效地检测各种复杂精密零部件的轮廓和表面形状尺寸、角度及位置，全自动地进行微观检测与质量控制；还可自动抓边、自动聚焦的功能使得大程度减少了人为误差。

　　三维表面检测仪高速扫描时由于加速度而引起的动态误差很大，不可忽略，必须加以补偿。在扫描过程中出现测头总是沿着曲面表面运动，即使速度的大小不变亦存在着运动方向的改变，因而总存在加速度及惯性力，使得检测仪发生变形，测头也在变负荷下工作，由此而导致测量的误差，扫描速度越高影响越大，甚至成为扫描测量误差的主要来源。

　　减小高速扫描时的动态误差的办法如下：

　　1.改进检测仪的结构刚性，但不要过多增加结构质量以免增加运动惯性力。

　　2.改进控制系统刚性及跟随性，保证高速扫描时针尖不会离开零件表面。

　　3.检测仪的扫描测头结构本应能适用于高速扫描。好的办法是量化动态误差并进行扫描动态误差补偿。