白光干涉仪主要测量原理及应用简介

　　白光干涉仪的测量应用说明：

　　以测量单刻线台阶为例，在检查仪器的各线路接头都准确插入对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。

　　在计算机上打开光学3D表面轮廓仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，光学3D表面轮廓仪可自动进行扫描测量，测量完成后，软件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。

　　白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高效率检测。*的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。